目的
光学素子の欠陥を簡便に発見、測定することのできる断層像測定装置を提供する。
効果
本発明により、光学素子の欠陥を簡便に発見、測定することのできる断層像測定装置を提供することができる。
本装置は、不必要な方向に進む光を遮断することが可能となり、より精密な測定を可能とすることができる。
技術概要
本発明の一手段にかかる断層像測定装置は、測定対象からの光を屈折させて集光させる第一のレンズと、第一のレンズを透過した光の光路長を調整する光路調整部と、光路調整部からの光を撮像素子上に集光させる第二のレンズと、を有し、光路調整部は、回転板と、回転板を駆動する駆動部と、回転板上に配置される回転反射部材と、を有することを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
