電子放出素子、それを備えた表示装置及び撮像装置

開放特許情報番号
L2014000159
開放特許情報登録日
2014/1/24
最新更新日
2014/1/24

基本情報

出願番号 特願2009-237394
出願日 2009/10/14
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2011-086454
公開日 2011/4/28
登録番号 特許第5210281号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 電子放出素子、それを備えた表示装置及び撮像装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 電子放出素子、それを備えた表示装置及び撮像装置
目的 ゲート電極とフォーカス電極とが同電位になって所望の電子ビーム径が得られなくなることを回避するとともに、回路構成を簡素化することができる電子放出素子、それを備えた表示装置及び撮像装置を提供する。
効果 本発明は、ゲート電極とフォーカス電極とが同電位になって所望の電子ビーム径が得られなくなることを回避するとともに、回路構成を簡素化することができるという効果を有する電子放出素子、それを備えた表示装置及び撮像装置を提供することができるものである。
技術概要
基板上に順次形成されたカソード電極、絶縁層、ゲート電極及びフォーカス電極と、前記フォーカス電極の表面から前記カソード電極に至る開口部と、該開口部によって露出されたカソード電極上に形成され電子を放出する電子放出部とを備えた電子放出素子であって、
前記フォーカス電極は、電荷が注入されエレクトレットとして機能する誘電体であるシリコン酸化膜と、前記シリコン酸化膜の表面を被覆するシリコン窒化膜とで形成されたものであり、
前記開口部は、前記フォーカス電極において前記電子の進行方向に沿って開口長が長くなるテーパ形状に形成されたものであることを特徴とする電子放出素子。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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