磁気光学式空間光変調器およびその製造方法

開放特許情報番号
L2014000029
開放特許情報登録日
2014/1/13
最新更新日
2014/1/13

基本情報

出願番号 特願2009-141484
出願日 2009/6/12
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2010-286729
公開日 2010/12/24
登録番号 特許第5238619号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 磁気光学式空間光変調器およびその製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 空間光変調器
目的 画素間のばらつきが少なく、応答速度の優れた磁気光学式の空間光変調器を提供する。
効果 本発明に係る磁気光学式空間光変調器によれば、数μm以下からさらに可視光波長サイズ(青色:400nm)の高精細と、原理的に数ps程度となる高速応答とを同時に可能とする画素を備え、省電力化を可能とし、画素間の動作のばらつきを低減することができる。そして、本発明に係る磁気光学式空間光変調器の製造方法によれば、前記特徴を有する磁気光学式空間光変調器を製造することができる。
技術概要
光を透過させる基板と、この基板上に2次元配列された複数の画素と、前記複数の画素から1つ以上の画素を選択する画素選択手段と、この画素選択手段が選択した画素に所定の電流を供給する電流供給手段と、を備え、前記基板を透過して前記複数の画素に入射した光を反射させて出射する磁気光学式空間光変調器であって、
前記画素は、前記画素選択手段に選択されたときに入射した光をその偏光方向を特定の方向に変化させて出射する光変調素子と、この光変調素子の上下に接続された上部電極および下部電極と、を備え、
前記上部電極は、前記光変調素子から入射した光を反射させるように金属電極材料からなり、
前記下部電極は、前記基板側から入射した光を透過させ、かつ前記光変調素子から出射した光を透過させるように、少なくとも一部が透明電極材料で形成され、
前記透明電極材料は、結晶性材料であって、加熱成膜により成膜されている、またはポストアニールが施されていることを特徴とする磁気光学式空間光変調器。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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