形状検査装置

開放特許情報番号
L2014000009
開放特許情報登録日
2014/1/8
最新更新日
2015/11/23

基本情報

出願番号 特願2011-111306
出願日 2011/5/18
出願人 国立大学法人宇都宮大学
公開番号 特開2012-242207
公開日 2012/12/10
登録番号 特許第5817211号
特許権者 国立大学法人宇都宮大学
発明の名称 形状検査装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 形状検査装置及び形状検査方法
目的 サイズや凹凸が大きい被検物体であっても光干渉計測法により表面形状を検査することが可能な形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
効果 サイズや凹凸が大きい被検物体であっても光干渉計測法により表面形状を検査することができる。
技術概要
形状検査装置1は、ホログラム原器3及び結像手段を備える。ホログラム原器3は、被検物体Oの理想形状に対応する再生光を再生する。結像手段は、前記被検物体Oに所要の入射角で斜め方向に光L1を入射する一方、前記ホログラム原器3に光を入射することによって、前記被検物体Oに反射した反射光L3又は前記被検物体Oを経由した透過光と前記ホログラム原器3からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 宇都宮大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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