| 出願番号 |
特願2015-536580 |
| 出願日 |
2014/9/9 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
WO2015/037577 |
| 公開日 |
2015/3/19 |
| 登録番号 |
特許第6261015号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
光デバイス及びその製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
光デバイス |
| 目的 |
アモルファス構造で、屈折率が１．６以上で消衰係数が１０の−５乗程度以下の光学特性を示す材料を備える光デバイスを実現する。
波長４７０ｎｍ乃至１７００ｎｍ、特に、光通信の波長帯である０．８ミクロン〜１．６ミクロンの波長の領域において、優れた光学特性を示す光導波路や光フィルター等の伝送用デバイスを提供する。 |
| 効果 |
初めて優れた光学特性を有するＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系アモルファス酸化物を実現し、光導波路や光フィルター等の光デバイスを提供できる。
容易に光伝送デバイスを立体的に多層に積み重ねたり、立体交差させたりすることが可能になる。そのため複数の光導波路を接続して光信号を同期させたり変調をかけたりモニターしたりすることが容易になる。
光デバイスの製造工程をオールドライプロセスで行うことが可能となる。 |
技術概要
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波長４８０ｎｍ乃至１７００ｎｍにおける屈折率が１．６以上２．１以下で消衰係数が１×１０−２３以上１×１０−４未満である、インジウム、ガリウム及び亜鉛を含むアモルファス酸化物を、備えることを特徴とする光デバイス。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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