応力センサの製造法

開放特許情報番号
L2013002517
開放特許情報登録日
2013/12/13
最新更新日
2017/3/10

基本情報

出願番号 特願2003-026030
出願日 2003/2/3
出願人 KOA株式会社
公開番号 特開2004-239624
公開日 2004/8/26
登録番号 特許第4322016号
特許権者 KOA株式会社
発明の名称 応力センサの製造法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 ポインティングデバイス
目的 付与された応力に対する歪ゲージ感度が揃った応力センサを提供するのに適した製造方法を確立すること。
効果 ポストに荷重を加えた状態で出力値を調整するため、付与された応力に対する歪ゲージ感度が揃った応力センサを提供することができる。
技術概要
基板面に歪ゲージと、応力受け部材としてのポストが配され、そのポストへの応力付与が前記基板を撓ませて前記歪ゲージを刺激し、当該刺激による前記歪ゲージの特性値変化により、付与された応力の方向を把握し得る応力センサの製造法において、前記基板はその内層に金属箔からなる凹部形成阻害部材を有するものであって、所定の荷重を前記ポストに付与する第2の工程と、当該荷重に対する歪ゲージ特性値を測定する第3の工程と、当該特性値が所望の値となるまで基板面に凹部を形成する第4の工程とを有し、第2〜第4の工程をこの順に実施することを特徴とする応力センサの製造法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 コーア株式会社

その他の情報

その他の提供特許
登録番号1 4104961
登録番号2 4136947
登録番号3 4271447
関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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