金属酸化物半導体式ガスセンサ

開放特許情報番号
L2013002495
開放特許情報登録日
2013/12/9
最新更新日
2017/6/26

基本情報

出願番号 特願2013-171480
出願日 2013/8/21
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2015-040753
公開日 2015/3/2
登録番号 特許第6128598号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 金属酸化物半導体式ガスセンサ
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 金属酸化物半導体式ガスセンサ
目的 被測定ガス中に250ppb以下の濃度で含まれるNOガスについても検知が可能な金属酸化物半導体式ガスセンサを提供する。
効果 被測定ガス中に250ppb以下の濃度で含まれるNOガスについても検知が可能な金属酸化物半導体式ガスセンサを提供することができる。
技術概要
基板と、前記基板上に形成された電極と、前記基板の前記電極を形成した面上に形成され、パラジウム、金、銀から選択される1種類以上の金属を担持したCo3O4を含むNOガス感応層と、を有し、
前記パラジウム、金、銀から選択される1種類以上の金属を担持したCo3O4中の、前記パラジウム、金、銀から選択される1種類以上の金属の含有率が0.1質量%以上25質量%以下である金属酸化物半導体式ガスセンサ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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