| 出願番号 |
特願2013-171480 |
| 出願日 |
2013/8/21 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2015-040753 |
| 公開日 |
2015/3/2 |
| 登録番号 |
特許第6128598号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
金属酸化物半導体式ガスセンサ |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
材料・素材の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
金属酸化物半導体式ガスセンサ |
| 目的 |
被測定ガス中に２５０ｐｐｂ以下の濃度で含まれるＮＯガスについても検知が可能な金属酸化物半導体式ガスセンサを提供する。 |
| 効果 |
被測定ガス中に２５０ｐｐｂ以下の濃度で含まれるＮＯガスについても検知が可能な金属酸化物半導体式ガスセンサを提供することができる。 |
技術概要
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基板と、前記基板上に形成された電極と、前記基板の前記電極を形成した面上に形成され、パラジウム、金、銀から選択される１種類以上の金属を担持したＣｏ３Ｏ４を含むＮＯガス感応層と、を有し、
前記パラジウム、金、銀から選択される１種類以上の金属を担持したＣｏ３Ｏ４中の、前記パラジウム、金、銀から選択される１種類以上の金属の含有率が０．１質量％以上２５質量％以下である金属酸化物半導体式ガスセンサ。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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