光応答性の分散剤を含有する分散剤含有CNT膜、該分散剤含有CNT膜を用いたCNT膜の製造方法

開放特許情報番号
L2013002485
開放特許情報登録日
2013/12/9
最新更新日
2017/8/31

基本情報

出願番号 特願2015-529554
出願日 2014/7/25
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2015/016156
公開日 2015/2/5
登録番号 特許第6095027号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光応答性の分散剤を含有する分散剤含有炭素材料膜、該分散剤含有炭素材料膜を用いた炭素材料膜の製造方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、機械・加工
機能 材料・素材の製造
適用製品 光応答性の炭素材料分散剤を含有する分散剤含有炭素材料膜、該分散剤含有炭素材料膜を用いた炭素材料膜の製造方法、及び、該炭素材料膜の製造方法を含む電子・電気デバイスの製造方法
目的 分散剤を全く含有しないか、含有してもその含有量が極めて少ないCNT膜等の炭素材料膜を容易に形成することのできる分散剤含有炭素材料膜を提供する。
分散剤を全く含有しないか、含有してもその含有量が極めて少ないCNT膜等の炭素材料膜を容易に形成することのできる炭素材料膜又はパターン化炭素材料膜の製造方法を提供する。
酸素プラズマや酸性・塩基性の現像液等の除去手法が微細パターンを有するパターン化CNT膜等のパターン化炭素材料膜を容易に製造することができるパターン化炭素材料膜の製造方法を提供する。
効果 露光処理後、水などのリンス液でリンスするだけで、分散剤を全く含有しない炭素材料だけの膜か、分散剤を含有していても、その含有量が極めて少ない炭素材料膜を容易に得ることができる。それ故、製造される炭素材料膜は、炭素材料本来の性能、特性を効果的に発揮することができる。
技術概要
下記一般式(I)で表されるスチルベン系又はアゾベンゼン系分散剤を含有する分散剤含有炭素材料膜であって、該膜中の前記分散剤が露光後のリンス液処理により除去可能であることを特徴とする分散剤含有炭素材料膜。
[式中、R↓1〜R↓6は、それぞれ独立して水素又は炭素数1〜5の直鎖状若しくは炭素数3〜6の分岐状アルキル基である。Aは炭素原子又は窒素原子である。Xはアニオンである。nはnXが−2価となる数である。]
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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