| 出願番号 |
特願2012-071442 |
| 出願日 |
2012/3/27 |
| 出願人 |
学校法人関西学院 |
| 公開番号 |
特開2013-205077 |
| 公開日 |
2013/10/7 |
| 登録番号 |
特許第5904835号 |
| 特許権者 |
学校法人関西学院 |
| 発明の名称 |
試料保持装置および試料分析方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
試料保持装置および試料分析方法 |
| 目的 |
試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うこと、およびそのための試料保持装置を提供すること。 |
| 効果 |
本発明によれば、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。また、そのための試料保持装置が得られる。 |
技術概要
 |
試料保持装置１は、試料９９を保持するホルダを備える。ホルダは、試料９９の表面に接するように形成される表側環境室１８と、試料９９の裏面に接するように形成される裏側環境室２８と、試料９９へビームを入射させるためのビーム入射口１６と、試料９９からビームを出射させるためのビーム出射口２６とを含む。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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