出願番号 |
特願2012-071442 |
出願日 |
2012/3/27 |
出願人 |
学校法人関西学院 |
公開番号 |
特開2013-205077 |
公開日 |
2013/10/7 |
登録番号 |
特許第5904835号 |
特許権者 |
学校法人関西学院 |
発明の名称 |
試料保持装置および試料分析方法 |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
試料保持装置および試料分析方法 |
目的 |
試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うこと、およびそのための試料保持装置を提供すること。 |
効果 |
本発明によれば、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。また、そのための試料保持装置が得られる。 |
技術概要
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試料保持装置1は、試料99を保持するホルダを備える。ホルダは、試料99の表面に接するように形成される表側環境室18と、試料99の裏面に接するように形成される裏側環境室28と、試料99へビームを入射させるためのビーム入射口16と、試料99からビームを出射させるためのビーム出射口26とを含む。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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