出願番号 |
特願2006-547756 |
出願日 |
2005/11/18 |
出願人 |
国立大学法人九州工業大学 |
公開番号 |
WO2006/059505 |
公開日 |
2006/6/8 |
登録番号 |
特許第4802332号 |
特許権者 |
国立大学法人九州工業大学 |
発明の名称 |
磁気吸引型非接触搬送装置 |
技術分野 |
輸送 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出 |
適用製品 |
磁気吸引型非接触搬送装置 |
目的 |
センサー(変位計)と磁石を一体化して装置をコンパクト化し、例えば、対象物を遠方まで移送する場合であっても、多数のセンサーを必要としない磁気吸引型非接触搬送装置を提供する。 |
効果 |
対象物の変位を測定する変位計が磁性体内に組み込まれているので、装置全体をコンパクトに構成できる。従って、本発明に係る磁気吸引型非接触搬送装置を用いて、宙づり状態の対象物(例えば、地球や月模型)を有する装飾物を提供できるだけでなく、タンクやチャンバー等内に収納された対象物を外部から位置制御や移動制御をすることができ、半導体の製造装置、化学や生物に関する実験装置、宇宙開発の分野で利用可能である。 |
技術概要
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コイルが巻かれて先部に磁極を形成する磁性体と、前記磁性体に組み込まれ前記磁極によって吸引される対象物の変位を測定する変位計と、該変位計の出力を入力とし前記コイルに流れる電流を制御して、前記対象物の位置を制御する制御装置とを備えた磁気吸着素子を有し、
前記磁性体はそれぞれ下端に中央磁極と環状磁極を備え上部で連結された中央の磁極鉄心部とその外側の筒状鉄心部を有し、前記磁極鉄心部を中心に断面円形に形成され、
前記変位計は、中央の棒状部と、該棒状部の周囲に配置された筒状部と、前記棒状部と前記筒状部との上端を連結するヨーク部を有するセンサー用コアと、前記棒状部に巻回されたコイルとを備えた渦電流センサーからなって、前記磁極鉄心部の中央に形成された円柱状空洞部に、該磁極鉄心部とは隙間を有して埋設され、前記磁極の直下にある前記対象物の変位を直接検知することを特徴とする磁気吸引型非接触搬送装置。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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