超電導磁気浮上による非接触搬送装置

開放特許情報番号
L2013002237
開放特許情報登録日
2013/10/25
最新更新日
2013/10/25

基本情報

出願番号 特願2006-548795
出願日 2005/12/8
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 WO2006/067974
公開日 2006/6/29
登録番号 特許第4543181号
特許権者 国立大学法人九州工業大学
発明の名称 超電導磁気浮上による非接触搬送装置
技術分野 輸送
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出
適用製品 非接触(又は隔離状態)で搬送する装置
目的 超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送物(具体的には搬送台)又は超電導体に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送物を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触搬送装置を提供する。
効果 異なる雰囲気及び/又は温度条件にあるチャンバー内にある物体や物質を外部から動かすことができ、チャンバー内にある半導体素子やその部品等の移動や搬送、又は無菌室等での試料や細菌の搬送に特に有効に利用できる。
また、搬送対象物に伝わる振動を抑制し絶縁状態で移動させることができる。
技術概要
複数の永久磁石が底部に設けられ、搬送対象物を運ぶ搬送台と、
前記搬送台の各永久磁石の直下に配置される超電導体を備えた搬送案内手段と、
前記搬送案内手段に設けられて、前記搬送台と前記搬送案内手段との距離を検知する距離センサと、
前記搬送案内手段に設けられて、通電によって前記搬送台を制振するための磁界を発生させる制振コイルと、
前記距離センサの信号によって前記搬送台の変位を検知し、前記制振コイルに流す電流を制御する制御部とを有することを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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