出願番号 |
特願2007-502544 |
出願日 |
2005/9/20 |
出願人 |
国立大学法人九州工業大学 |
公開番号 |
WO2006/085405 |
公開日 |
2006/8/17 |
登録番号 |
特許第4072627号 |
特許権者 |
国立大学法人九州工業大学 |
発明の名称 |
原子状水素定量方法およびその装置 |
技術分野 |
情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
適用製品 |
原子状水素の定量技術 |
目的 |
原子状水素の定量を簡便かつ正確に行うことができる原子状水素定量方法およびその装置を提供する。 |
効果 |
初期条件に調製したセンサーを原子状水素を含む雰囲気に曝露して原子状重水素等を脱離させ、原子状重水素等の定量結果に基づいて雰囲気中の原子状水素の定量を行うので、雰囲気中の原子状水素の定量を簡便かつ正確に行うことができる。 |
技術概要
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センサー材料を初期条件に調製するセンサー調製工程と、該センサーを、原子状水素を含む測定対象ガスに曝露するセン サー曝露工程と、
該センサーを加熱する加熱工程と、該センサーから脱離する水素の強度を測定する強度測定工程と、予め求めておいた該センサーに対する原子状水素の照射時間と該センサーから脱離する水素の質量分析による強度の相関関係に基づいて、測定対象ガス中の原子状水素を定量する原子状水素定量工程と、
を有することを特徴とする原子状水素定量方法。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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