ZnO透明導電膜の成膜方法

開放特許情報番号
L2013002197
開放特許情報登録日
2013/10/24
最新更新日
2013/10/24

基本情報

出願番号 特願2002-355781
出願日 2002/12/6
出願人 北海道電力株式会社
公開番号 特開2004-190052
公開日 2004/7/8
登録番号 特許第3788613号
特許権者 北海道電力株式会社
発明の名称 ZnO透明導電膜の成膜方法
技術分野 電気・電子、機械・加工、無機材料
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 液晶パネル、太陽電池、LowEガラス、透明ヒータ
目的  現在主流であるITOなどの酸化物膜、銀などの金属膜による透明導電膜に比較して材料、製膜方法を工夫して低コスト化につながる製造技術を開発する
効果 ・用途により異なるがLow-Eガラスに適用する場合、低コスト化で導入が促
進されれば窓の断熱性能が向上して省エネにつながる。
・液晶パネルの場合は高価で産地が限定されているインジウムを使わず安価
で一般に入手可能な亜鉛を使用できる。
・透明ヒータの場合はこれまで熱腺などで対処していた自動車用の窓などに
 用いることができる。特に透明なテープ上に成膜すれば後から施工ができ
 るので、自家用車、バス、重機などで必要な箇所にカットした透明ヒータ
 のシートを貼るなどして適用範囲の拡大が期待できる。
技術概要
 
 金属亜鉛を原料とした反応性直流スパッタリング成膜を行う際にガス中にアルコール、水などを添加することで導電率が大幅に向上する。
 装置構成としてはガス供給ラインの適当な場所にアルコール、水などを入れた容器を設置して、そこでアルゴンガス(スパッタガス)を加湿するのみで良い。
 なお、アルコール、水などの添加の効果はプラズマ中で発生する水素ラジカルが酸化亜鉛結晶格子中の酸素原子や亜鉛原子の欠陥を誘発してその結果ドナーとして供給しているBやAlの置換効率が向上していると考えられる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 許諾の条件については、要相談。

アピール情報

出展実績 2012年度 技術移転マッチング(主催:経済産業省北海道経済産業局)

登録者情報

登録者名称 北海道電力株式会社

技術供与

技術指導 【可】
期間 要相談
技術指導料 【要】様相談
コンサルティング 【可】
期間 要相談
コンサルティング料 【要】要相談

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
設備購入ルート
設備メーカ紹介 【可】
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