真空排気ポンプ

開放特許情報番号
L2013001999
開放特許情報登録日
2013/9/27
最新更新日
2013/11/29

基本情報

出願番号 特願2009-184795
出願日 2009/8/7
出願人 国立大学法人九州工業大学
公開番号 特開2011-038435
公開日 2011/2/24
登録番号 特許第5371003号
特許権者 国立大学法人九州工業大学
発明の名称 真空排気ポンプ
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 真空排気ポンプ
目的 構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
効果 真空排気ポンプの構成を簡単にでき、製造コストを低減できて、コンパクト化も図れる。
更に、軸受に超電導磁気軸受を使用するので、メンテナンスフリーでクリーンにできる。
技術概要
中央に配置されたシャフト及びその周囲に取付けられた動翼を有するロータと、該ロータを囲むケーシング及び該ケーシングの内側に設けられた静翼を有するステータと、前記シャフトを回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプにおいて、
前記軸受に超電導磁気軸受が使用され、かつ前記ステータを冷却する冷媒に、前記超電導磁気軸受に用いる冷媒が使用されていることを特徴とする真空排気ポンプ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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