金属微細構造体及びその製造方法並びに樹脂成形物の製造方法

開放特許情報番号
L2013001870
開放特許情報登録日
2013/9/11
最新更新日
2014/9/26

基本情報

出願番号 特願2010-048427
出願日 2010/3/4
出願人 学校法人東京理科大学
公開番号 特開2011-187510
公開日 2011/9/22
登録番号 特許第5578513号
特許権者 学校法人東京理科大学
発明の名称 金属微細構造体の製造方法並びに樹脂成形物の製造方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 配線基板、金属微細構造体及びその製造方法並びに樹脂成形物の製造方法
目的 母型の凹凸パターンにクラックの無い金属膜を形成し、母型の凹凸パターンの破損を抑制するとともに凹凸パターンが反映された金属膜を支持部材に転写して金属微細構造体を製造することができる方法を提供する。
効果 母型の凹凸パターンにクラックの無い金属膜を形成し、母型の凹凸パターンの破損を抑制するとともに凹凸パターンが反映された金属膜を支持部材に転写して金属微細構造体を製造することができる方法、金属微細構造体、並びに樹脂成形物の製造方法が提供される。
技術概要
表面に凹凸パターンが形成された母型を用い、該母型の前記凹凸パターンが形成された表面に、下記一般式(I)で表されるシランカップリング剤の膜を形成する工程と、
前記シランカップリング剤の膜上に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜と該金属膜を支持する支持部材とを一体化させる工程と、
前記金属膜を前記支持部材とともに前記母型から剥離させることにより、前記母型の前記凹凸パターンが反映された前記金属膜と、該金属膜と一体化した前記支持部材とを有する金属微細構造体を得る工程と、
を含むことを特徴とする金属微細構造体の製造方法。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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