| 出願番号 |
特願2010-133282 |
| 出願日 |
2010/6/10 |
| 出願人 |
国立大学法人静岡大学 |
| 公開番号 |
特開2011-257315 |
| 公開日 |
2011/12/22 |
| 発明の名称 |
計測装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
計測装置 |
| 目的 |
基体上での位置情報の検出に基体に励振した表面弾性波を用いることにより、構成上や使用上の制限が少ない簡単かつコンパクトな構成の計測装置を提供する。 |
| 効果 |
計測装置は、弾性波励振手段を介して特定の周波数の表面弾性波を精度良く基体に励振することができるとともに、基体に励振した特定の周波数の表面弾性波を弾性波検出手段を介して精度良く検出することができる。この結果、計測装置における位置情報の計測精度を向上させることができる。 |
技術概要
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表面弾性波が伝播可能な基体と、前記基体に前記表面弾性波を励振するための弾性波励振手段と、圧電体上に平行配置された少なくとも一対の電極からなる検出子が前記基体上を前記表面弾性波の伝播方向に沿って変位可能に設けられて前記表面弾性波を検出して弾性波検出信号を出力する弾性波検出手段と、前記弾性波検出手段から出力された前記弾性波検出信号に基づいて前記弾性波検出手段の変位量を計算する変位量計算手段とを備えることを特徴とする計測装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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