| 出願番号 |
特願2013-065133 |
| 出願日 |
2013/3/26 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2014-190771 |
| 公開日 |
2014/10/6 |
| 発明の名称 |
質量測定方法及び質量測定装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
物質の質量を計測する技術 |
| 目的 |
正確に固有振動数で発振する固有振動モードを正確に求めることが可能で、かつ、高粘性環境中でも高精度かつ安定な質量測定を行うことが可能であり、更に、リアルタイムの質量測定を行うのに好適な質量測定方法及び質量測定装置を提供する。 |
| 効果 |
粘性応力によるダンピングが大きい測定環境下であっても、高精度かつ安定な質量測定を行うことが可能である。また、リアルタイムの質量測定を行うことも可能である。また、局在化した振動モードを実現化することが可能となる。
さらに、微小な質量に対しても自励発振中の応答振幅比の方が強制加振による共振状態中の応答振幅比に比べ高精度である。 |
技術概要
 |
質量測定装置１００は、連成振動可能な範囲で極めて弱い連成効果を持つ状態で結合した二つのカンチレバー１Ａ及び１Ｂのうちカンチレバー１Ａの速度フィードバックとしてカンチレバー１Ａの変位ｘ↓1を積分した積分値を演算し、この積分値にフィードバックゲインαを乗算してフィードバック制御信号を生成し、このフィードバック制御信号に基づきアクチュエータ６を駆動してカンチレバー１Ａ及び１Ｂに対して、カンチレバー１Ａの振動速度に比例した力を与えて、カンチレバー１Ａ及び１Ｂを自励振動させる。そして、自励振動を検出時のカンチレバー１Ａ及び１Ｂの変位ｘ↓1及びｘ↓2に基づきカンチレバー１Ｂに付加した測定対象物の質量に相当する値を演算する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)