質量測定方法及び質量測定装置

開放特許情報番号
L2013001453
開放特許情報登録日
2013/7/22
最新更新日
2015/12/18

基本情報

出願番号 特願2013-065133
出願日 2013/3/26
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2014-190771
公開日 2014/10/6
発明の名称 質量測定方法及び質量測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 物質の質量を計測する技術
目的 正確に固有振動数で発振する固有振動モードを正確に求めることが可能で、かつ、高粘性環境中でも高精度かつ安定な質量測定を行うことが可能であり、更に、リアルタイムの質量測定を行うのに好適な質量測定方法及び質量測定装置を提供する。
効果 粘性応力によるダンピングが大きい測定環境下であっても、高精度かつ安定な質量測定を行うことが可能である。また、リアルタイムの質量測定を行うことも可能である。また、局在化した振動モードを実現化することが可能となる。
さらに、微小な質量に対しても自励発振中の応答振幅比の方が強制加振による共振状態中の応答振幅比に比べ高精度である。
技術概要
質量測定装置100は、連成振動可能な範囲で極めて弱い連成効果を持つ状態で結合した二つのカンチレバー1A及び1Bのうちカンチレバー1Aの速度フィードバックとしてカンチレバー1Aの変位x↓1を積分した積分値を演算し、この積分値にフィードバックゲインαを乗算してフィードバック制御信号を生成し、このフィードバック制御信号に基づきアクチュエータ6を駆動してカンチレバー1A及び1Bに対して、カンチレバー1Aの振動速度に比例した力を与えて、カンチレバー1A及び1Bを自励振動させる。そして、自励振動を検出時のカンチレバー1A及び1Bの変位x↓1及びx↓2に基づきカンチレバー1Bに付加した測定対象物の質量に相当する値を演算する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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