目的
大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
効果
ステップの高さの精度を長期間にわたって維持可能であり安定したナノメーター標準原器が実現できる。
また、この標準試料によって校正することができる測定機器として、例えば、原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡，電子顕微鏡、光干渉顕微鏡及びレーザ顕微鏡等を挙げることができる。
技術概要
ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ／テラス構造が形成されたＳｉＣ層を有している。そして、ステップの高さが、ＳｉＣ分子の積層方向の１周期分であるフルユニットの高さ、又はＳｉＣ分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
