ナノメーター標準原器、標準試料、ナノメーター標準原器の製造方法、及び標準試料の製造方法

開放特許情報番号
L2013001371
開放特許情報登録日
2013/7/5
最新更新日
2014/10/22

基本情報

出願番号 特願2010-122852
出願日 2010/5/28
出願人 学校法人関西学院
公開番号 特開2011-247807
公開日 2011/12/8
登録番号 特許第5590665号
特許権者 学校法人関西学院
発明の名称 ナノメーター標準原器、標準試料、ナノメーター標準原器の製造方法、及び標準試料の製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 ナノメーター標準原器
目的 大気中の物質に対する耐食性に優れ、かつ高精度なナノメーター標準原器を提供する。
効果 ステップの高さの精度を長期間にわたって維持可能であり安定したナノメーター標準原器が実現できる。
また、この標準試料によって校正することができる測定機器として、例えば、原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡,電子顕微鏡、光干渉顕微鏡及びレーザ顕微鏡等を挙げることができる。
技術概要
ナノメーター標準原器としての標準試料は、比較の基準となる標準長さを有している。また、この標準試料は、ステップ/テラス構造が形成されたSiC層を有している。そして、ステップの高さが、SiC分子の積層方向の1周期分であるフルユニットの高さ、又はSiC分子の積層方向の半周期分であるハーフユニットの高さと同一である。また、このステップの高さが前記標準長さとして用いられる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人関西学院

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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