空気軸受

開放特許情報番号
L2013001219
開放特許情報登録日
2013/6/20
最新更新日
2013/6/20

基本情報

出願番号 特願2002-162966
出願日 2002/6/4
出願人 株式会社ミツトヨ
公開番号 特開2004-011686
公開日 2004/1/15
登録番号 特許第4113732号
特許権者 株式会社ミツトヨ
発明の名称 空気軸受
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 空気軸受
目的 基部に対する可動部の特定部位の位置及び姿勢を変えることなく、基部に対し可動部をしっかりとロックすることのできる空気軸受を提供する。
効果 基部に対する可動部の特定部位の位置及び姿勢を変えることなく、基部に対し可動部をしっかりとロックすることができる。
また、前記ロック指令により、浮上用給気管による浮上用圧縮空気供給の解除と、静止用給気管による静止用圧縮空気の供給を行う制御弁を設けることにより、前記可動部のロックを、より簡易に行うことができる。
技術概要
ロック指令により、基部12と可動部16a間への浮上用圧縮空気供給の解除と、静止用圧縮空気供給手段32,34によるチャンバ22内への静止用圧縮空気の供給を行い、前記浮上用圧縮空気供給の解除により消失する前記基部12と可動部16a間の空気膜36の厚みと同じ量だけ、前記ダイアフラム24外壁の特定部位40を空気膜36の厚み増大方向に変形させることにより、前記基部12に対するダイアフラム24外壁の特定部位40の位置及び姿勢を変えることなく前記基部12と可動部16aを接触させ、該接触により生じる摩擦力により前記基部12に対する可動部14の静止を行うことを特徴とする空気軸受10。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】
実施権条件 <1>競合他社(製品)へのライセンスは原則行わない。
<2>技術指導は原則行わない。

登録者情報

登録者名称 株式会社ミツトヨ

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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