| 出願番号 |
特願2006-113364 |
| 出願日 |
2006/4/17 |
| 出願人 |
株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 |
特開2007-285872 |
| 公開日 |
2007/11/1 |
| 登録番号 |
特許第4783662号 |
| 特許権者 |
株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 |
光路差増倍装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
光路差増倍装置 |
| 目的 |
所望する光路差増倍数に切り替え可能な光路差増倍装置を提供する。 |
| 効果 |
キューブコーナプリズムの配置を切り替えて、レーザ光が第１反射体と第２反射体の間を往復する回数を切り替えることによって、所望する光路長の光路差増倍数に切り替えることができるので、その光路差増倍数に応じて、レーザ干渉器の分解能を向上させることができる。
さらに、所望する光路差増倍数、特に奇数倍の光路長と偶数倍の光路長のいずれにも応じた光路差増倍数に切り替えることができるので、その光路差増倍数に応じて、レーザ干渉器の分解能を向上させることができる。 |
技術概要
 |
レーザ干渉器本体４から出力されたレーザ光が、光路差増倍装置５０の移動反射体１と固定反射体２の間で交互に入反射を繰り返して往復するマルチパスが行われる際に、第１のキューブコーナプリズム１６または第２のキューブコーナプリズム２６の配置を切り替え、それらキューブコーナプリズムがレーザ光を反射する位置を切り替えることによって、レーザ光が移動反射体１と固定反射体２の間の往復する回数を切り替えることができるので、その往復回数（マルチパス数）を増すことに応じてレーザ干渉測長機１００の測長分解能を向上させることを可能にした。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
| 実施権条件 |
＜１＞競合他社（製品）へのライセンスは原則行わない。
＜２＞技術指導は原則行わない。 |
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