電子顕微鏡

開放特許情報番号
L2013000993
開放特許情報登録日
2013/6/4
最新更新日
2014/11/20

基本情報

出願番号 特願2011-531918
出願日 2010/9/13
出願人 国立大学法人浜松医科大学
公開番号 WO2011/034020
公開日 2011/3/24
登録番号 特許第5610491号
特許権者 国立大学法人浜松医科大学
発明の名称 電子顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 電子顕微鏡
目的 像障害の発生を抑制することができ、しかも、筐体内に配置された駆動対象物の位置調整を、簡易な構造でかつ目的に応じた速度及び精度で行うことができる電子顕微鏡を提供する。
効果 像障害の発生を抑制することができ、しかも、筐体内に配置された駆動対象物の位置調整を、簡易な構造でかつ目的に応じた速度及び精度で行うことができる。
技術概要
試料の像を取得するために、電子レンズを用いて電子線を収束させ、前記試料に前記電子線を照射する電子顕微鏡であって、
前記試料及び前記電子レンズを収容し、内部の真空度を維持すると共に浮遊磁場を遮蔽する筐体と、
前記筐体内に配置された駆動対象物を駆動させる圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電アクチュエータは、前記駆動対象物に一体的に組み込まれ、パルス信号によって制御されることを特徴とする電子顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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