複合膜の成膜装置及び成膜方法

開放特許情報番号
L2013000961
開放特許情報登録日
2013/6/3
最新更新日
2015/10/20

基本情報

出願番号 特願2011-031874
出願日 2011/2/17
出願人 国立大学法人富山大学
公開番号 特開2012-031503
公開日 2012/2/16
登録番号 特許第5794519号
特許権者 国立大学法人富山大学
発明の名称 複合膜の成膜装置及び成膜方法
技術分野 金属材料
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 複合化された膜を成膜する装置及びその成膜方法
目的 異なる金属間、金属と酸化物、金属と窒化物、酸化物と窒化物等、複合化する材料の組合せが自由に調整できるナノコンポジット膜および/またはナノ多層膜を成膜できる装置及び方法の提供。
効果 従来の膜では実現できなかった組み合せでナノコンポジット膜が製造可能であるため、たとえば1000℃を超える超耐熱性を有する耐酸化性硬質保護膜や700℃以下で動作する高性能固体電解質膜を実現できる可能性がある。
磁性膜や半導体膜の分野でも研究対象となりうる材料の組み合せが拡大できるため、本発明に係る成膜装置、成膜方法は波及効果が大きい。
技術概要
成膜室を隔壁で仕切ることで複数のチャンバーを形成し、且つ各チャンバーを横切るように可動する可動部を有し、
各チャンバーはそれぞれ減圧排気装置、ガス導入口及び蒸気源となるターゲットの保持部を有し、
可動部が各チャンバーを横切るように成膜室を複数のチャンバーに仕切ったことで可動部、隔壁及び成膜室内壁の組み合せ間に生じ得る隙間を、ガスが他のチャンバーに混入しないように、隣接チャンバー間に形成された隙間断面積Sを粘性流が生じない所定の大きさ以下にしたことを特徴とする複合膜の成膜装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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