小型位相シフト装置

開放特許情報番号
L2013000883
開放特許情報登録日
2013/5/27
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願2011-042235
出願日 2011/2/28
出願人 国立大学法人 和歌山大学
公開番号 特開2012-181027
公開日 2012/9/20
登録番号 特許第5761786号
特許権者 国立大学法人 和歌山大学
発明の名称 小型位相シフト装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 レーザー干渉法の位相シフト法による位相解析、変位分布計測やひずみ分布計測、三次元計測等で使用する装置
目的 安価・小型の位相シフト機構を提供する。
効果 フィードバック制御機能の付いたピエゾ素子を使用する代わりに、干渉縞の明暗の信号をとらえる光センサーを用いることにより、機構を小型化することができる。さらに光路中に鏡を備えることにより、光軸の調整を容易に行うことができ、製造を安価に行うことができる。
技術概要
従来の位相シフト機構でよく知られている、フィードバック制御機能付きピエゾステージの代わりに、
(1)参照光を位相シフトする鏡にトリガ光を反射させ、
(2)参照光よりもトリガ光が数倍多く位相シフトするように参照光とトリガ光の入射角を変え、
(3)トリガ光で得られる干渉縞を検出する光センサーによってカメラのトリガ信号を作ることで、
従来のフィードバック制御機能付きピエゾステージを使用することなく、安価・小型の位相シフト機構を提供することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【有】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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