定常プラズマ生成装置

開放特許情報番号
L2013000860
開放特許情報登録日
2013/5/27
最新更新日
2016/4/19

基本情報

出願番号 特願2011-068129
出願日 2011/3/25
出願人 学校法人日本大学
公開番号 特開2012-204159
公開日 2012/10/22
登録番号 特許第5892358号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 定常プラズマ生成装置
技術分野 電気・電子、化学・薬品
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 定常プラズマ生成装置
目的 回転磁場単独でプラズマを高効率で生成でき、且つ、小型である定常プラズマ生成装置を提供する。
効果 回転磁場単独でプラズマを高効率で生成でき、且つ、小型であるという利点がある。
技術概要
環状電流を有する定常プラズマ生成装置であって、該定常プラズマ生成装置は、
プラズマ生成ガスが提供される放電管と、
前記放電管の外部に設けられ、放電管の軸を回転軸とする回転磁場を放電管に与えるアンテナ部であって、それぞれ放電管の軸の垂直方向を軸とする複数の複数巻コイルと、各複数巻コイル内にそれぞれ挿入される複数の磁性体と、を有するアンテナ部と、
前記アンテナ部を含む並列共振回路を駆動する電流型インバータ回路と、
を具備することを特徴とする定常プラズマ生成装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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