微小孔の検査装置およびその検査方法

開放特許情報番号
L2013000849
開放特許情報登録日
2013/5/27
最新更新日
2015/4/23

基本情報

出願番号 特願2011-044138
出願日 2011/3/1
出願人 学校法人日本大学
公開番号 特開2012-181100
公開日 2012/9/20
登録番号 特許第5688738号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 微小孔の検査装置およびその検査方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 微小孔の検査装置
目的 被検査物における微小孔の位置のみならずその大きさの検出を可能とする微小孔の検査装置および方法を提供する。
効果 例えば被検査物に形成された微小孔などの検査において、その微小孔の位置のみならずその大きさを検査することができる。
また、被検査物を検査する場合に音響的な方法で行うようにした。このため、光学的な方法等では検査ができない環境や条件がある場合には、特に有効である。
技術概要
被検査物Aの検査領域A1の、一方の側に可聴音発生装置1を配置し、他方の側で音圧を測定する一対のマイクロホン2、3を2次元的に走査させ、出力信号をそれぞれ取り込み、取り込んだ出力信号に基づいて音響インテンシティを測定して検査領域A1の微小孔aの位置を検出し、さらに測定された音響インテンシティの傾きを算出して傾きの大きさに基づいて微小孔aの大きさを検出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT