プラズマ光源及びプラズマ光発生方法

開放特許情報番号
L2013000821
開放特許情報登録日
2013/5/27
最新更新日
2014/6/19

基本情報

出願番号 特願2011-501691
出願日 2010/3/1
出願人 学校法人日本大学
公開番号 WO2010/098483
公開日 2010/9/2
登録番号 特許第5515040号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 プラズマ光源及びプラズマ光発生方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 プラズマ光源及びプラズマ光発生方法、磁化同軸ガンを用いたプラズマ光源及びこれを用いたプラズマ光発生方法
目的 特に紫外光域においても高輝度な光を発生可能なプラズマ光源及びプラズマ光発生方法を提供する。
効果 本発明のプラズマ光源及びプラズマ光発生方法には、特に紫外光域においても高輝度な光を発生可能であるという利点がある。また、デブリについても低減可能であるという利点もある。
技術概要
光を放出するプラズマ光源であって、該プラズマ光源は、
内部導体と、内部導体に同軸状に配置され一端が開放される筒状の外部導体と、外部導体の周囲に巻かれるバイアスコイルと、内部導体と外部導体との間に電源を供給する電源回路と、をそれぞれ有するスフェロマックを生成する一対の磁化同軸ガンであって、一対の磁化同軸ガンの中心軸が一致し外部導体の開放端が対向するように配置される、一対の磁化同軸ガンと、
前記一対の磁化同軸ガンの外部導体の開放端がそれぞれ結合される対向する一対のガン結合開口部と、光を取り出す窓部とを有する磁束保持容器と、
を具備することを特徴とするプラズマ光源。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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