| 出願番号 |
特願2013-038657 |
| 出願日 |
2013/2/28 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2014-167396 |
| 公開日 |
2014/9/11 |
| 登録番号 |
特許第6108387号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
イオン液体ビームを用いた分析装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、検査・検出 |
| 適用製品 |
電子やイオンを分析する分析装置 |
| 目的 |
電子ビーム照射やレーザー照射あるいはイオンビーム照射によって分析試料表面から失われたイオン液体を分析装置内部の真空中において補充することが可能となり、イオン液体のコーティング効果を分析開始時から分析終了時まで安定に保持できる分析装置を提供する。 |
| 効果 |
本発明の分析装置により、電子ビーム照射やレーザー照射あるいはイオンビーム照射によって分析試料表面から失われたイオン液体を分析装置内部の真空中において補充することが可能となり、電気絶縁性の材料や水分を含むようなバイオメディカル試料等の真空中での分析（ＳＥＭ、ＴＥＭ、ＭＡＬＤＩ、ＳＩＭＳなど）が、分析開始から分析終了時まで安定に、高精度かつ高感度に実施可能となる。 |
技術概要
 |
電子ビーム、レーザーあるいはイオンビームを分析試料に照射し、分析試料から放出される電子やイオン等を分析する装置であって、
イオン液体ビームを照射するイオン液体ビーム源を備え、該イオン液体ビーム源は、真空中に設置された分析試料に対してイオン液体ビームを照射し、分析試料表面にイオン液体を供給しコーティングすることにより、イオン液体のコーティング量を分析開始時から分析終了時まで安定に保持できるようにしたことを特徴とする分析装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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