| 出願番号 |
特願2013-022522 |
| 出願日 |
2013/2/7 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2014-153165 |
| 公開日 |
2014/8/25 |
| 登録番号 |
特許第6120310号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
微小構造物検出装置及び方法並びに検出用ディスク |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
検出装置及び方法、並びに該検出に適する検出用ディスク |
| 目的 |
気体中あるいは液体中に含まれる微小構造物の検出、又は微小構造物の形状をより精度高く評価できる検出装置、検出方法及び検出に使用する検出用ディスクを提供する。 |
| 効果 |
薄膜層として、窒化物、酸化物、炭化物、硫化物のうちのいずれかの単層又は複数層を用いることにより、長期間使用しても高精度の検出を実現できる。
該ディスクにレーザ光の検出光を照射し反射光を検出する光学装置を用いて、微小構造物の位置や形状を高精度で検出することが可能となり、該形状の評価に基づき微小構造物の種類を特定する精度が向上する。
０.１〜１０μｍ程度の微小構造物の検出、計数、形状観察、種類の特定を高精度で実施できる。 |
技術概要
 |
基板上に薄膜層を備えるディスクの表面に、微小構造物を付着させ、検出光を走査して、複数のトラックにディスクの半径方向にわたって整列して形成されたマーカーと、前記薄膜層の表面に付着する微小構造物とからの検出信号を、複数トラックにわたり前記マーカーを基準として処理することにより、微小構造物の位置又は形状を検出する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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