熱線濃度計

開放特許情報番号
L2013000749
開放特許情報登録日
2013/5/13
最新更新日
2015/1/21

基本情報

出願番号 特願2009-264065
出願日 2009/11/19
出願人 学校法人日本大学
公開番号 特開2011-107035
公開日 2011/6/2
登録番号 特許第5645184号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 熱線濃度計
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 熱線濃度計
目的 濃度分布の分解能を図ることを可能にすると共により高い応答性の確保を可能とし、且つノズル形状の特定を容易とし、熱線濃度計そのものも小さくすることを可能とする熱線濃度計を提供する。
効果 本発明の熱線濃度計は、特定個所の気体を吸い込むことができ、気体の流れに交差する方向の濃度分布の分解能を計測することができる。また、気体濃度変動がある場合でもより高い応答性を確保することができる。
また、ノズル部出口側の流速を超音速にするノズル部形状等に特定することも容易となり、熱線濃度計そのものを小さくすることも可能である。
技術概要
ノズル部19を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。シリコンウェハの表面に絶縁層を製膜すると共に該シリコンウェハに吸引部に接続させるための接続流路を形成する第1の工程と、絶縁層の表面に、センサ部をスパッタリングにより形成する第2の工程と、絶縁層の表面に、センサ部に接続した配線部を蒸着する第3の工程と、配線部の端末に、電極を蒸着する第4の工程と、絶縁層の表面にポリイミド層をコーティングする第5の工程と、ポリイミド層にノズル部及びノズル部に連通しセンサ部を臨ませ接続流路31に連通する流路をエッチングする第6の工程とを備えたことを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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