乾式研磨法による脆弱試料薄片の作製法

開放特許情報番号
L2013000636
開放特許情報登録日
2013/4/19
最新更新日
2015/10/1

基本情報

出願番号 特願2012-286077
出願日 2012/12/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2014-126546
公開日 2014/7/7
登録番号 特許第5633078号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 乾式研磨法による脆弱試料薄片の作製法
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 高度な平滑化表面を有する薄片の作製法
目的 軽石・粘土・珪藻土・マンガンノジュール・未石化の化石・イオウや塩分を含む鉱物など、天然に存在する鉱物において加熱に弱いあるいは水・油により膨潤し破壊されてしまうような脆弱な試料に対し、高度な薄片表面の平滑化が求められる走査型電子顕微鏡・エネルギー分散X線分光法・電子線マイクロアナライザー・反射顕微鏡等に用いられる薄片を提供する。
効果 高度な薄片表面の平滑化が求められる走査型電子顕微鏡・エネルギー分散X線分光法・電子線マイクロアナライザー・反射顕微鏡等に用いることが可能になる。
試料の歪みや、研磨の際の試料の角の欠落を防止することができるとともに、一部が削れ過ぎることを抑制でき、貼り付けた岩石あるいは鉱物により薄片の厚さを判断できるばかりでなく、コンタミネーションを防ぐことができる。
切削傷がつかないことに加え、安価でコストの削減が可能な上、容易に入手が可能であり、試料の膨潤や摩擦熱の発生が抑制できるため試料研磨に対する悪影響が少ない。
技術概要
脆弱試料を樹脂により包理固化し、直方体に成形切断した後、該試料の研磨される面と直行する4面、又はさらに研磨される一方の面と反対側の面を加えた5面に、岩石又は鉱物を貼り付けた後に研磨を行うことにより、平面性を保ちつつかつ薄片の厚さを判断しながら研磨を行うことを可能とする。包理固化のための樹脂には、常温あるいは低温で硬化が可能でかつ固化時間が短い樹脂を用い、脆弱試料の最終研磨には、アルミナ粉末を含侵させたシルククロスを用いる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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