対向面内所定位置における対向面間距離測定装置及び方法、及びそれらを用いた高平面度加工方法

開放特許情報番号
L2013000425
開放特許情報登録日
2013/3/22
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願2009-043796
出願日 2009/2/26
出願人 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構
公開番号 特開2010-197281
公開日 2010/9/9
登録番号 特許第5472575号
特許権者 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
発明の名称 対向面内所定位置における対向面間距離測定装置及び方法、及びそれらを用いた高平面度加工方法
技術分野 輸送、情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 干渉条件が対向面間距離に応じて変化することを利用して、対向面の不均一さ、すなわち対向面内所定位置に依存して変化する対向面間距離を測定するための装置、及び方法。そのような装置又は方法で対向面間距離を測定した結果を利用して高平面度加工をするための方法。
目的 先端技術分野、科学技術研究を含む幅広い用途に対して適用可能な、短時間で精度よく被測定体の平面度を測定するための方法、及びそれを利用した高平面度加工方法を提供する。
効果 非透過性材料を含む幅広い材料において、従来の精度を大幅に超える高精度での平面度測定が可能となる。現行のイメージセンサを用いた場合でさえ、従来の測定精度を大幅に上回る0.2nm程度の精度で平面度を測定できることは、本発明が奏する極めて有利な効果である。
さらに、所定位置をスムースに再設定し測定を反復することが可能である。すなわち短時間で平面度が測定できることとなる。
加えて、短時間で実施でき、また白色光を利用する従来の3次元構造解析装置のように、測定対象へのサイズ制限が課されることもない。
技術概要
一対の対向被測定体の対向面間所定位置における対向面間距離を測定するための装置を用いる。その測定装置は、狭帯域光発生手段と、狭帯域光発生手段より発生し一対の対向被測定体から透過された透過光を集光するための集光手段と、集光手段により集光された透過光を受光し、受光した透過光に対応する電気的像を表示するために用いることが可能な電気的信号へと、受光した透過光を変換するための受光及び変換手段と、を含む。集光手段は、対向面内所定位置から出射した透過光を集光することにより、所定位置における対向面間距離に対応した干渉条件に従って干渉する透過光を集光することが可能である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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