ポンププローブ測定装置

開放特許情報番号
L2013000346
開放特許情報登録日
2013/3/8
最新更新日
2015/11/12

基本情報

出願番号 特願2011-169682
出願日 2011/8/2
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2013-032993
公開日 2013/2/14
登録番号 特許第5610399号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 ポンププローブ測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 ポンププローブ測定装置
目的 1ns以下の高速現象を精度よく測定できる、ポンププローブ測定装置を提供する。
効果 照射光強度を変調したりパルスピッカーを用いてパルスを間引いたりすることなく、緩和時間の短い現象から長い現象までの広い測定範囲に亘って、微弱信号を高感度でかつ、高精度に安定して計測することができ、例えば1ns以下のpsオーダーの超高速物理現象を計測し解析するためのポンププローブ測定装置及びこの測定装置を利用した時間分解型の走査プローブ顕微鏡装置を構成することができる。
半導体ナノデバイス内部におけるps領域のキャリア寿命や輸送現象の計測や、新規な機能デバイスの研究段階において多大な貢献が可能となる。
技術概要
ポンププローブ測定装置1は、ポンプ光3aとなる第1の超短光パルス列とプローブ光となる第2及び第3の超短光パルス列3b,3cとを発生させる超短光パルスレーザー発生部2と、第2及び第3の超短光パルス列3b,3cが入射される光シャッタ部6と、ポンプ光3a及びプローブ光3b,3cを試料7に照射する照射光学系8と、試料7からのプローブ信号を検出するセンサー11と、センサー11に接続される位相敏感検出手段12と、を含む検出部20とを備え、光シャッタ制御部10によってポンプ光3aに対するプローブ光3b,3cの遅延時間が周期的に変調されて交互にプローブ光3b,3cとして試料7に照射され、プローブ信号を遅延時間の周期的変調信号に同期して位相敏感検出手段12で検出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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