参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置

開放特許情報番号
L2013000291
開放特許情報登録日
2013/2/27
最新更新日
2017/8/30

基本情報

出願番号 特願2014-548520
出願日 2013/11/12
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2014/080798
公開日 2014/5/30
登録番号 特許第6091017号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 参照リーク発生装置およびその参照リーク発生装置を用いた超微小リーク試験装置
目的 外挿値ではなく、実際に、10↑(-11)Pam↑3/s以下の参照リークを発生する参照リーク発生装置を提供するとともに、その参照リーク発生装置を用いて、現場で、リーク試験装置の測定室に参照リークを導入して、リークを検出する分圧真空計(質量分析計)を校正することで、信頼性が高い超微小リーク試験装置を提供する。
効果 外挿値ではなく、実際に、10↑(-11)Pam↑3/s以下の参照リークを現場で発生することができ、また、本発明の超微小リーク試験装置によれば、現場で、参照リークをリーク試験装置に導入して、測定できることを確認しながら試験でき、信頼性が高い。
また、1点校正ではなく、多点校正が可能なので、リーク量を計測する分圧真空計(質量分析計)の線形性(直線性)を確認できる。
技術概要
測定室の上流側に接続するための参照リーク発生装置であって、
開閉可能な第1バルブを介して試験ガスを導入可能な容積V↓0の第1室と、開閉可能な第2バルブを介して前記第1室と接続された容積V↓1の第2室と、前記第1室に接続された圧力計と、前記第2室に接続された真空ポンプと、前記第2室に接続されたオリフィス又は多孔質体とを備え、前記第2バルブを開くことにより前記第1室の試験ガスの容積をV↓0からV↓0+V↓1に膨張させることができるように構成し、前記第2室が前記オリフィス又は多孔質体を介して前記測定室の上流側に接続可能となっていることを特徴とする参照リーク発生装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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