ガス式レートセンサ

開放特許情報番号
L2013000217
開放特許情報登録日
2013/2/8
最新更新日
2013/2/8

基本情報

出願番号 特願2003-185797
出願日 2003/5/26
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 特開2004-354360
公開日 2004/12/16
登録番号 特許第4512864号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 ガス式レートセンサ
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 ガス式レートセンサ
目的 全体の構造が簡素化されて小形化を図ることができるとともに、センサ本体とポンプとの結合精度を向上させて、ポンプ性能、センサ性能ともに良好なガス式レートセンサを容易に製造することができるようにする。
効果 半導体基板のマイクロマシニング加工によってセンサ本体とポンプとを一体に製造することにより、全体の構造が簡素化されて小形化を充分に図ることができるとともに、両者の結合精度が保持されて、ポンプ性能、センサ性能ともに優れたものになるという利点を有している。
技術概要
下側基板と上側基板との間に、電磁気的な振動子によって振動する振動板が形成され、その振動板を支持する基部に排気孔があけられ、ヒートワイヤのセンサブリッジが形成された中間基板を挟持して、上側基板と中間基板との間でポンプ部の吸気口および吸排気室とセンサ部のガス排出口とが形成され、下側基板と中間基板との間でポンプ部の背気室、通気孔およびセンサ部のガス供給用のノズル孔とが形成され、下側基板と上側基板との間でセンサ部のガス通路が形成されるように構成されたガス式レートセンサ。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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