マイクロポンプ

開放特許情報番号
L2013000216
開放特許情報登録日
2013/2/8
最新更新日
2013/2/8

基本情報

出願番号 特願2003-168453
出願日 2003/5/9
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 特開2004-332707
公開日 2004/11/25
登録番号 特許第4254362号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 マイクロポンプ
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロポンプ
目的 小形で振動特性にばらつきのない、ポンプ吐出口からガスを効率良く噴出させることができるポンプ性能の安定したマイクロポンプを容易に製造することができるようにする。
効果 小形化を図るに際して、振動板の装着状態が常に一定となり、振動特性にばらつきのないポンプ性能の安定したマイクロポンプを容易に製造することができるようになる。
背圧室内のガスが基板に沿う横方向にまっすぐに噴出するような構造をとるようにしているので、従来のように縦方向に配設される背圧室内のガスの通気孔とポンプ吐出口との相対的な位置の精度が悪くて乱流をきたしたり、流量が低下したりするような問題を生ずることなく、ポンプ吐出口からガスを効率良く噴出させることができるという利点を有している。
技術概要
下側基板と上側基板との間に、振動子によって振動する振動板が形成され、その振動板を支持する基部に排気孔があけられた中間基板を挟持して、上側基板と中間基板との間で吸気口および吸排気室が形成され、下側基板と中間基板との間で背気室、通気孔およびポンプ吐出口が形成されるようにし、中間基板における振動板を支持する基部にあけられた排気孔側に通気孔が設けられ、その通気孔に対して基板に沿う方向に連通するようにポンプ吐出口が設けられるように構成されたマイクロポンプ。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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