顕微分光測定シミュレーション法

開放特許情報番号
L2012003326
開放特許情報登録日
2012/11/27
最新更新日
2016/9/22

基本情報

出願番号 特願2012-180494
出願日 2012/8/16
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2014-038032
公開日 2014/2/27
登録番号 特許第5974222号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 顕微分光測定シミュレーション法
技術分野 情報・通信
機能 材料・素材の製造、検査・検出
適用製品 ラマン分光及びラマン分光を応用した応力(歪み)計測に関するデータ処理、シミュレーション技術等
目的 顕微分光計測、特に、顕微ラマン計測を用いた応力(歪み)計測過程をシミュレートする方法を提供する。
効果 信号光を一点一点光らせるのではなく、各散乱点を一斉に光らせることにより計算時間が短縮される。また、本発明では、各点にランダムに位相を与えて信号光を発光させて、シミュレーションを行うので、各点を同じ位相で一斉に光らせた場合における、光の干渉により強度分布が変調されてしまうことがない。さらに、与える位相の乱数を変えて複数回シミュレーションを行い、その平均を取ることにより、特定の乱数のセットに起因する散乱光の強度分布の変調の影響を小さくすることができる。
技術概要
歪みテンソルの値をラマンシフトに単純に変換するのではなく、電磁場解析と組み合わせて顕微分光計測過程をシミュレートすることにより、偏光方向依存性等、より精密なシミュレートを可能にしたシミュレーション方法であって、lineB上の各点毎に光源をおき1点毎に光らせることに代えて、lineB上の点を各点にランダムな位相を与えて一斉に光らせてFDTD計算を行うことを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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