金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料

開放特許情報番号
L2012002929
開放特許情報登録日
2012/10/10
最新更新日
2014/6/19

基本情報

出願番号 特願2010-166345
出願日 2010/7/23
出願人 国立大学法人広島大学
公開番号 特開2012-026002
公開日 2012/2/9
登録番号 特許第5521197号
特許権者 国立大学法人広島大学
発明の名称 金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造、その他
適用製品 金属材料表面にワイヤ状突起物を形成する方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料
目的 金属材料の表面積を大きく増加させることのできる金属材料表面へのワイヤ状突起物の形成方法、及び該ワイヤ状突起物を備える金属材料を提供する。
効果 第1のスパッタ工程で、円錐状突起物が形成され、第2のスパッタ工程で、円錐状突起物の先端からワイヤ状突起物が形成される。ワイヤ状突起物は、アスペクト比が極めて大きいため、ワイヤ状突起物が形成されることで、金属材料の表面積は大きく増加する。
電気自動車用の電気二重層キャパシタ、蓄電池用電極、蛍光灯やプラズマテレビのエミッター、コーティングの中間層、グリップローラなどの接触搬送手段に適用することができる。
技術概要
アルゴンガス等の不活性ガスをチャンバ内に導入しながら、高周波電力の出力によりチャンバ内にプラズマを発生して、チャンバ内に設置された金属材料の表面のスパッタエッチングを行う(ステップS3)。これにより、金属材料の表面に円錐状突起物が形成される。さらに、アルゴンガスに加えて、水或いは水素をチャンバ内に導入しながら、引き続き、高周波電力の出力によりチャンバ内にプラズマを発生して、金属材料の表面のスパッタエッチングを行う(ステップS4)。これにより、金属材料の表面にワイヤ状突起物が形成される。ワイヤ状突起物は、円錐状突起物の先端から成長している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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