| 出願番号 |
特願2012-163442 |
| 出願日 |
2012/7/24 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2014-021097 |
| 公開日 |
2014/2/3 |
| 発明の名称 |
レーザーアブレーション用チャンバー |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
レーザーアブレーション用チャンバー |
| 目的 |
チャンバーの容積が極めて小さい(１ｍＬ以下)レーザーアブレーション用チャンバーを提供する。 |
| 効果 |
チャンバーの容積が極めて小さいため(従来装置は２５ｍＬ以上であるのに対して、本発明は１ｍＬ以下である)、これにより試料輸送用キャリアガス流速が削減され、従来装置よりキャリアガス中の試料粒子密度が高く、プラズマ中の滞在時間も長いため、分析感度の向上(１０〜１００倍)が期待できる。
本発明のチャンバーは、直径５ｍｍ以下のチューブ状とし、キャリアガス導入用チューブに接続する形式とするため、容積１ｍＬ以下のチャンバーが実現できる。 |
技術概要
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レーザーアブレーション用チャンバーを直径５ｍｍ以下のチューブ状チャンバーで構成して容積１ｍＬ以下とし、キャリアガス導入用チューブとチューブ状チャンバーと誘導結合プラズマのトーチとは、それぞれの軸心が一直線状になるように配置したことを特徴とする、トーチ直接型レーザーアブレーション用チャンバーまたはトーチ一体型レーザーアブレーション用チャンバー。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)