目的
特定の回転角加速度以外の加速度が、ノイズとして問題となり、かつ安価に製作しなければならない場合に、特定の回転方向以外の方向への運動を大幅に抑制することができるばね構造で振動子を支持することで、特定の回転角加速度以外の加速度によるノイズを低減した回転角加速度の測定装置を提供する。
効果
本発明によれば、クロストークが問題となる場合であっても、回転角加速度以外の加速度に影響を受けないジャイロセンサを、安価に実現することが可能になる。また、回転角加速度を算出する演算手段も、半導体微細加工技術によって一体製作すれば、さらに低コスト化することも可能になる。
技術概要
回転軸を中心に回転する振動体と、
回転軸から半径rの点に振動体を支持するための複数の節点と、
振動体を支持するための節点を、回転軸を中心に円運動させるためのアームの長さがrの複数の平行四辺形リンクと、
平行四辺形リンクの固定節を支持するための支持部と、
回転角を検出する回転角検出手段と、
回転角から回転角加速度を算出するための演算手段と、を含むことを特徴とする回転角加速度測定装置。