オゾン検出センサ

開放特許情報番号
L2012002311
開放特許情報登録日
2012/8/10
最新更新日
2014/11/20

基本情報

出願番号 特願2010-036678
出願日 2010/2/22
出願人 独立行政法人国立高等専門学校機構
公開番号 特開2011-169875
公開日 2011/9/1
登録番号 特許第5601700号
特許権者 独立行政法人国立高等専門学校機構
発明の名称 オゾン検出センサ
技術分野 情報・通信
機能 制御・ソフトウェア、検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 酸化亜鉛薄膜を用いてオゾン含有流体中のオゾン濃度を検出するオゾン検出センサ
目的 オゾン濃度を精度よく検出できるコンパクトなオゾン検出センサを提供する。
効果 (イ)実質的にオゾン含有流体Oを充填する測定セル4と光源20とを格納できる大きさの極めてコンパクトなオゾン検出センサとすることができる。
(ロ)可視光を遮断する光学フィルター等を用いる必要がなく、オゾン検出センサの小型化と共に構造の簡単化を図ることができる。
(ハ)オゾン含有流体中のオゾン濃度を十分な精度で検出することができる。
(ニ)オゾン濃度の検出時間及び精度を共に最適化することができる。
(ホ)光源20の劣化等に起因する検出誤差を防止し、オゾン濃度の検出精度の更なる向上を図ることができる。
(ヘ)
技術概要
透光性基板の対の対向間隙にオゾン含有流体を充填する測定セル、前記測定セルの一方の基板上に紫外光を照射する光源、前記測定セルの他方の基板の透光側に設けたドーピング又は真性欠陥により紫外光感度を増大させたP型又はN型の所定膜厚の酸化亜鉛薄膜、前記薄膜に一定電圧を印加する電極対、及び前記電極対間の電流を検知する計測回路を備えてなり、前記薄膜の所定膜厚をA領域紫外光に対するC領域紫外光の感度比率が所定比率以上となるように選択してなるオゾン検出センサ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【否】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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