電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置

開放特許情報番号
L2012002293
開放特許情報登録日
2012/8/8
最新更新日
2016/7/27

基本情報

出願番号 特願2012-109268
出願日 2012/5/11
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-235801
公開日 2013/11/21
登録番号 特許第5939627号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法及び電子顕微鏡装置
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造
適用製品 電子顕微鏡用試料、電子顕微鏡画像形成方法、電子顕微鏡装置
目的 透過電子顕微鏡により高精度な三次元像をマーカー法により得るために、電子顕微鏡用試料及びその試料を用いた三次元像形成方法並びに三次元像の高精度な再構築処理が可能な電子顕微鏡装置を提供する。
効果 回転像シリーズから、撮影視野の中心軸に対する試料の回転軸の傾斜角と偏心角、観察領域の平行移動量、試料の回転角度を算出する際に、マーカーが回転像シリーズの各回転像中に写っており欠如することや多く重なってしまうことがないので、マーカーによるアライメントが高精度で可能となる。
TEMトモグラフィーの試料作製の成功率が向上し、得られる三次元像の分解能が向上し、結果として実用性が高まる。
技術概要
試料を回転させて透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影して、試料の三次元像を得る電子顕微鏡画像形成方法であって、試料は、観察対象が存在する観察領域と独立させて、マーカー領域を設けた構造であり、マーカー領域には複数のマーカーが試料回転軸方向の位置が異なるように並んで配置されている。マーカー領域のマーカーを用いて、試料の回転角度、及び撮影視野の中心軸に対する試料の回転軸の傾斜角度と偏心角度、並びに観察領域の平行移動量を算出して、観察領域の三次元再構築処理を行って三次元像を形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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