レーザー光により表面の変化を検出する装置

開放特許情報番号
L2012001936
開放特許情報登録日
2012/7/10
最新更新日
2016/4/19

基本情報

出願番号 特願2012-090002
出願日 2012/4/11
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-217826
公開日 2013/10/24
登録番号 特許第5880957号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーザー光により表面の変化を検出する装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出、表面処理
適用製品 スペックル画像を利用して検査対象の表面の変化を非破壊的に検出する装置
目的 スペックル画像を用いて、予め定めた複数の照射箇所の中から、試料表面の変化の場所を特定できるとともに、撮像素子の校正を行えるようにした、レーザー光により表面の変化を検出する装置を提供する。
効果 どの照射領域で表面変化が生じたか場所の特定も可能である。さらに、得られたスペックル画像を直接比較できるように参照画像発生手段を設けて撮像素子の校正ができるようにしたので、検出の前に予め撮像素子の校正を行うことにより、精度の高い検出ができる。
本発明は、環境中の物体表面への物質の付着(汚染)や剥離(コーティング)の検出に用いることができ、また、製品製造過程における物体表面の変化の検出およびそれを利用した製造過程(熱処理、プラズマ処理、研磨など)の制御や欠陥(傷、欠損等)の検査等にも用いることができる。
技術概要
レーザー光源からのレーザー光を試料表面に照射し、試料表面での散乱光を撮像装置でスペックル画像として撮影し、そのスペックル画像をコントローラーで解析比較して試料の表面の変化を検出する装置であって、
前記レーザー光は回転式偏光板と偏光プリズムを通った後、収束手段、走査手段を通ってハーフミラーで、試料表面と参照画像発生手段への2光束に分割され、
前記ハーフミラーと試料表面の光路上に挿脱自在な第1ストッパーを設け、前記ハーフミラーと参照画像発生手段の光路上に挿脱自在な第2ストッパーを設け、
試料表面の変化を検出する際には、前記第1ストッパーを光路上から脱するとともに前記第2ストッパーを光路上に挿入することにより、試料表面の散乱光を前記撮像装置でスペックル画像として撮影し、
前記撮像素子を校正する際には、前記第1ストッパーを光路上に挿入するとともに前記第2ストッパーを光路上から脱することにより、参照画像発生手段の散乱光を撮像装置で撮影し、撮像装置の光信号強度を、前記回転式偏光板と偏光プリズムの相対回転量変化によるレーザー光の強度変化に対して校正することを特徴とする試料の表面の変化を検出する装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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