| 出願番号 |
特願2012-081280 |
| 出願日 |
2012/3/30 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2013-210059 |
| 公開日 |
2013/10/10 |
| 発明の名称 |
回転軸支持機構及び回転導入機構 |
| 技術分野 |
機械・加工 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
回転軸支持機構及び回転導入機構 |
| 目的 |
中空型回転型導入機に導入される真空機器の回転軸の振れを大幅に抑制することができ、利便性を向上させる回転軸支持機構及び該回転軸支持機構を有する回転導入機構を提供する。 |
| 効果 |
従来技術における前記諸問題を解決することができ、中空型回転型導入機に導入される真空機器の回転軸の振れを大幅に抑制することができ、中空型回転導入機の利便性を向上させる回転軸支持機構及び該回転軸支持機構を有する回転導入機構を提供することができる。 |
技術概要
 |
少なくとも、真空容器に取付可能な取付フランジと、該取付フランジに回転可能に支持される回転フランジとを有し、ガスケットにより機内の中空部が封止可能とされる中空型回転導入機に取付けられ、
一端側が前記真空容器内に延在するように前記ガスケット及び前記中空型回転導入機に軸挿され、前記回転フランジの回転に基づき回転可能とされる回転軸の延在方向に沿って延設されるガイド部材と、
該ガイド部材の基端部を前記取付フランジに固定する固定部と、
該ガイド部材の先端側に配され、前記回転軸を回転可能に軸支する軸受機構と、を有することを特徴とする回転軸支持機構。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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