光学測定装置および光学測定方法

開放特許情報番号
L2012001595
開放特許情報登録日
2012/5/18
最新更新日
2015/12/22

基本情報

出願番号 特願2012-041169
出願日 2012/2/28
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-178115
公開日 2013/9/9
登録番号 特許第5825635号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光学測定装置および光学測定方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 光学測定装置および光学測定方法
目的 光学測定において、試料表面に垂直な偏光方向の光で励起することを可能にする。
効果 試料面に垂直な方向の偏光成分で励起されるTOフォノンモードをより強く検出することができるようになり、試料面に平行な方向の偏光成分で励起されるLOフォノンモードの情報と併せれば、応力の種類や方法、大きさに関する詳細な応力解析が可能となる。
技術概要
光学測定装置10は、試料へ向かう励起光の光路上に配置されるZ偏光子16と、Z偏光子16により偏光された励起光を試料面に集光する対物レンズ22と、励起光によって励起され試料から放射されて検出器28へ向かう信号光の光路上に配置される直線偏光子24とを備え、Z偏光子16を用いた偏光と対物レンズ22による集光とにより、試料面に垂直な偏光方向の励起光を試料面に入射させると共に、直線偏光子24を用いた偏光で、試料12の表面に垂直な偏光方向の励起光で励起された信号光のうちの予め定められた偏光方向の信号光を検出器28に入射させ、検出させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT