物品面上の突起の高さを計測する方法及びそのための装置

開放特許情報番号
L2012001574
開放特許情報登録日
2012/5/18
最新更新日
2016/9/22

基本情報

出願番号 特願2013-556525
出願日 2013/2/1
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2013/115386
公開日 2013/8/8
登録番号 特許第5979387号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法及びそのための装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法及びそのための装置
目的 物品面上に形成された微細な突起ないし突条の高さを計測する際に、非接触で効率よく、短時間に高さを計測できるようにする。
効果 表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さを計測する際に、非接触で効率よく高さを計測することができる。また、それにより、太陽光セル等の量産される製品の場合にも高さをインラインで計測するように迅速な計測が可能になる。
技術概要
表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さを計測する方法であって、載置された物品面に対して撮影光軸が1〜40°の範囲の角度をなし計測の対象となる突起ないし突条を撮影する位置に撮像装置を設置し、前記物品面上の突起ないし突条に対し物品面への法線に関して前記撮像装置側に照明光源を配置し、照明光下で前記撮像装置により前記物品面を撮影し、撮影により得られた前記物品面上の突起ないし突条の画像における突起の高さ方向に相当する寸法を計測し、計測により得られた突起ないし突条の高さ方向に相当する寸法と前記設置された撮像装置での撮影倍率とから突起ないし突条の高さを求めることを演算により行うことを特徴とする物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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