スパッタ装置

開放特許情報番号
L2012001388
開放特許情報登録日
2012/5/8
最新更新日
2012/5/8

基本情報

出願番号 特願2008-044576
出願日 2008/2/26
出願人 日本放送協会
公開番号 特開2009-203495
公開日 2009/9/10
登録番号 特許第4881335号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 スパッタ装置
技術分野 金属材料、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 スパッタ装置
目的 ターゲット汚染を低減する、カルーセル式マグネトロンカソード及びスパッタ装置を提供する。
効果 発熱を低減させながら、カルーセル式マグネトロンカソードの回転に好適な構造を有し、スパッタ粒子の回り込み現象を好適に低減させることができる。
技術概要
本発明のカルーセル式マグネトロンカソードは、所定の真空状態に保たれたチャンバ10内にて、固定位置に設けられたデバイス11の成膜面に、所定の薄膜を成膜するために、当該デバイスを多層に成膜するために、スパッタ粒子を放出可能なターゲットを各々が有する複数のカソード13a,13b,13cと、複数のカソード13a,13b,13cを、所定の半径を有する円の円周上にそれぞれ配置するとともに、複数のカソードの各々を保持するカソード保持機構20と、カソード保持機構20によって保持された複数のカソード13a,13b,13cを、順にスパッタ粒子を放出するのに適した、当該円の中心を回転軸として回転する回転機構21とを備える。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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