| 出願番号 |
特願2012-011525 |
| 出願日 |
2012/1/23 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2013-148562 |
| 公開日 |
2013/8/1 |
| 登録番号 |
特許第5843198号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
圧電素子およびその製造方法、ならびに圧電センサ |
| 技術分野 |
情報・通信、電気・電子、金属材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
圧電素子、圧電センサ |
| 目的 |
圧電応答性を向上させつつ、高出力化、小型化、低価格化を実現する圧電素子、圧電センサならびに圧電素子の製造方法を提供する。 |
| 効果 |
圧電体薄膜に含まれるスカンジウムの原子数とアルミニウムの原子数との総量を１００原子％としたとき、スカンジウムの含有率が、０．５〜５０原子％の範囲内である構成である。
これにより、圧電応答性を向上させつつ、高出力化、小型化、低価格化を実現することができる。
自動車等の内燃機関のシリンダー内に設けられる燃焼圧センサ等に好適に用いられる。 |
技術概要
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薄膜素子積層センサ１の圧電素子５は、貫通孔８ａが形成された基板５１と、スカンジウムを含有する窒化アルミニウム薄膜からなる圧電体薄膜５２と、圧電体薄膜５２の少なくとも一部を被覆している金属箔電極５３とを備え、圧電体薄膜５２に含まれるスカンジウムの含有率が、０．５〜５０原子％の範囲内である。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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