圧電素子およびその製造方法、ならびに圧電センサ

開放特許情報番号
L2012001238
開放特許情報登録日
2012/4/23
最新更新日
2016/1/25

基本情報

出願番号 特願2012-011525
出願日 2012/1/23
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2013-148562
公開日 2013/8/1
登録番号 特許第5843198号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 圧電素子およびその製造方法、ならびに圧電センサ
技術分野 情報・通信、電気・電子、金属材料
機能 機械・部品の製造
適用製品 圧電素子、圧電センサ
目的 圧電応答性を向上させつつ、高出力化、小型化、低価格化を実現する圧電素子、圧電センサならびに圧電素子の製造方法を提供する。
効果 圧電体薄膜に含まれるスカンジウムの原子数とアルミニウムの原子数との総量を100原子%としたとき、スカンジウムの含有率が、0.5〜50原子%の範囲内である構成である。
これにより、圧電応答性を向上させつつ、高出力化、小型化、低価格化を実現することができる。
自動車等の内燃機関のシリンダー内に設けられる燃焼圧センサ等に好適に用いられる。
技術概要
薄膜素子積層センサ1の圧電素子5は、貫通孔8aが形成された基板51と、スカンジウムを含有する窒化アルミニウム薄膜からなる圧電体薄膜52と、圧電体薄膜52の少なくとも一部を被覆している金属箔電極53とを備え、圧電体薄膜52に含まれるスカンジウムの含有率が、0.5〜50原子%の範囲内である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT