可干渉な波動による観察技術

開放特許情報番号
L2012001063
開放特許情報登録日
2012/3/23
最新更新日
2012/3/23

基本情報

出願番号 特願2006-085627
出願日 2006/3/27
出願人 財団法人ファインセラミックスセンター
公開番号 特開2007-263594
公開日 2007/10/11
登録番号 特許第4900911号
特許権者 財団法人ファインセラミックスセンター
発明の名称 可干渉な波動による観察技術
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 可干渉な波動による観察システム
目的 観察対象に作用する波動の影響を低減する技術を提供する。
効果 観察対象に作用する波動の強度が観察対象の位置における波動の平均強度の2分の1以下とできるので、観察対象に作用する波動の影響を低減することができる。そして、焦点はずし像から観察対象位置での波動を再生することにより、波動の平均強度が小さい領域に配置された観察対象を観察することが可能となる。
技術概要
図1は、透過電子顕微鏡10aの構成図、図2は、試料の観察装置1000の機能的な構成を示す機能ブロック図、図3は、透過電子顕微鏡10aにより試料SPC2の正焦点条件での観察を行う様子を示す説明図、図4は、透過電子顕微鏡10aを用いて取得した試料の正焦点像を示す図、である。この観察装置1000は、透過電子顕微鏡10aと、解析表示部400と、を備える。透過電子顕微鏡10aの試料台12には、観察対象の試料が取り付けられる。撮像装置310は、透過電子顕微鏡10aの観察面に形成された像(観察面投影像)IVを取得する。解析表示部400は、再生演算部410と、表示部420と、を備えている。再生演算部410は、撮像装置310により取得された観察面投影像IVに所定の演算処理を施すことにより、試料面電子線の状態を表す試料画像ISを生成する。再生演算部410により生成された試料画像ISは、表示部420により表示される。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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