ヘリウム分離材の製造方法

開放特許情報番号
L2012001062
開放特許情報登録日
2012/3/23
最新更新日
2012/3/23

基本情報

出願番号 特願2005-337864
出願日 2005/11/22
出願人 財団法人ファインセラミックスセンター
公開番号 特開2007-137752
公開日 2007/6/7
登録番号 特許第4668043号
特許権者 財団法人ファインセラミックスセンター
発明の名称 ヘリウム分離材の製造方法
技術分野 化学・薬品、機械・加工
機能 材料・素材の製造
適用製品 ヘリウム分離材
目的 耐熱性に優れ、ヘリウムの透過性及び選択性に優れるヘリウム分離材の製造方法を提供する。
効果 このヘリウム分離材は、200℃以上、好ましくは400℃以上、更に好ましくは500℃以上の高温域において良好な形状保持性を有し、長寿命であり、ヘリウムの透過性及び選択性に優れる。また、このヘリウム分離材の製造方法では、特に、容易に且つ効率的に膜厚制御された、非晶質物質を含む非晶質物質含有膜、及び結晶質物質を含む結晶質物質含有膜を形成することができ、その結果、ヘリウムのみが透過する細孔を形成することができる。
技術概要
非晶質物質形成用組成物を、連通孔を有し且つ無機材料からなる基体の、少なくとも連通孔内に浸透させ塗膜を形成する塗膜形成工程と、塗膜を含む基体を熱処理し、連通孔内に非晶質物質を含む非晶質物質含有膜を形成する非晶質物質含有膜形成工程と、熱処理された連通孔内に、化学反応により結晶質物質を生成する気体原料を供給し加熱して化学的気相合成を行い、非晶質物質含有膜の表面に、結晶質物質を堆積させる結晶質物質堆積工程とを備える、ヘリウム分離材の製造方法である。図1は、ヘリウム分離材の破断表面の概略図である。ヘリウム分離材は、連通孔を有し且つ無機材料からなる基体11と、基体11の表面層を被覆し且つ非晶質物質を含む非晶質物質含有膜12(膜[A])と、連通孔内に内接した非晶質物質含有膜[A]12の表面に配設され且つ結晶質物質を含む結晶質物質含有膜13(膜[B])とを備え、結晶質物質含有膜[B]13に包囲された細孔14を有する。図2、図3、図4は、ヘリウム分離材の表面層における断面図の一例を示す概略図である。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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