加速度センサ

開放特許情報番号
L2012000711
開放特許情報登録日
2012/3/16
最新更新日
2012/3/16

基本情報

出願番号 特願2006-167086
出願日 2006/6/16
出願人 学校法人 関西大学
公開番号 特開2007-333618
公開日 2007/12/27
発明の名称 加速度センサ
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 加速度センサ
目的 安価に製造でき、かつ感度の高い加速度センサを提供する。
効果 加速度センサは、加速度に対応して変位する慣性質量板に第1電極と第2電極とを設け、第1電極と第2電極に対向して誘電体を設けているので、比誘電率の大きい誘電体を容易に基板上に形成することが可能になる。したがって、安価に製造できかつ感度の高い加速度センサを提供することができる。
技術概要
図1は、加速度センサの基本構成を模式的に示す図である。加速度センサは、図1に示すように、基板1上に弾性梁3によって支持され、印加される加速度によって位置が変化する慣性質量板2と、慣性質量板2の下面に形成された一対の電極2a、2bと、慣性質量板2の下面に対向して設けられた誘電体7とを備える。すなわち、加速度センサでは、印加される加速度によって位置が変化する慣性質量板2の下面に一対の電極2a、2bを形成し、固定側の基板1の上に誘電体7を慣性質量板2の下面に近接して設ける。この加速度センサにおいては、慣性質量板2に加速度が印加されたときの電極2a、2b間の静電容量の変化量を測定することにより、誘電体7と電極2a、2bの間隔(距離)がどのように変化したか検出でき、その検出値に基づいて慣性質量板2に印加された加速度が算出される。図2は加速度センサにおける電極間の静電容量を評価するための2次元断面モデル、図3は、加速度センサにおける、誘電体と慣性質量体間の間隔に対する静電容量を示すグラフ、図4は、加速度センサにおける、電極のパターン構成を示す平面図、である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 関西大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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