| 出願番号 |
特願2006-167086 |
| 出願日 |
2006/6/16 |
| 出願人 |
学校法人 関西大学 |
| 公開番号 |
特開2007-333618 |
| 公開日 |
2007/12/27 |
| 発明の名称 |
加速度センサ |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造、検査・検出 |
| 適用製品 |
加速度センサ |
| 目的 |
安価に製造でき、かつ感度の高い加速度センサを提供する。 |
| 効果 |
加速度センサは、加速度に対応して変位する慣性質量板に第１電極と第２電極とを設け、第１電極と第２電極に対向して誘電体を設けているので、比誘電率の大きい誘電体を容易に基板上に形成することが可能になる。したがって、安価に製造できかつ感度の高い加速度センサを提供することができる。 |
技術概要
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図１は、加速度センサの基本構成を模式的に示す図である。加速度センサは、図１に示すように、基板１上に弾性梁３によって支持され、印加される加速度によって位置が変化する慣性質量板２と、慣性質量板２の下面に形成された一対の電極２ａ、２ｂと、慣性質量板２の下面に対向して設けられた誘電体７とを備える。すなわち、加速度センサでは、印加される加速度によって位置が変化する慣性質量板２の下面に一対の電極２ａ、２ｂを形成し、固定側の基板１の上に誘電体７を慣性質量板２の下面に近接して設ける。この加速度センサにおいては、慣性質量板２に加速度が印加されたときの電極２ａ、２ｂ間の静電容量の変化量を測定することにより、誘電体７と電極２ａ、２ｂの間隔（距離）がどのように変化したか検出でき、その検出値に基づいて慣性質量板２に印加された加速度が算出される。図２は加速度センサにおける電極間の静電容量を評価するための２次元断面モデル、図３は、加速度センサにおける、誘電体と慣性質量体間の間隔に対する静電容量を示すグラフ、図４は、加速度センサにおける、電極のパターン構成を示す平面図、である。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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